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一、超純水概況
超純水(Ultrapure water)又稱UP水,是指電阻率達到18 MΩ*cm(25℃)的水。超純水是(shì)一種經過特殊工藝處理的水(shuǐ),幾乎(hū)不含任何雜質,具有很高的純度。超純水可以用於(yú)超純材料(半導體原件材料、納米精細陶瓷材料等)應用(yòng)蒸餾、去(qù)離子化、反滲(shèn)透(tòu)技術(shù)或(huò)其它適當(dāng)的超臨界精細技術的製備過程。下麵介(jiè)紹超(chāo)純水處理(lǐ)係統工藝與流程。
二、超純水處理係統工(gōng)藝介紹
1: 預處理(lǐ)-反(fǎn)滲透-純化水箱-離子交換器(qì)-紫外燈-純水泵-用水點
2: 預處理-一級反滲透-二級反滲透(正電荷(hé)反滲膜)-純化水箱-純水泵(bèng)-紫外燈-用(yòng)水點
3: 預處理-反滲透(tòu)-中間水箱-中間水泵-EDI裝置-純(chún)化水箱-純水泵-紫外燈-用水點
4: 預處理→紫外線殺菌裝置→一(yī)級RO裝置→二級RO裝置→中間(jiān)水箱→EDI裝置→脫氧裝置→氮封純水箱→除TOC UV裝置→拋光(guāng)混床→超濾裝置→用水點(diǎn)
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